SOGEVAC 機組的典型應用領域包括工業(yè)、研究和化學。其中重點是金屬生產(chǎn)和加工、干燥和脫氣、熱處理、太陽能部件和半導體制造領域中的鍍膜以及表面細化等工藝。SOGEVAC 機組還可用作高真空系統(tǒng)的前級泵組,與擴散泵、渦輪分子泵和低溫泵結(jié)合使用。
在常見的真空爐工藝中,例如硬化、退火、硬釬焊、熔化和鑄造,通常優(yōu)選使用油封或干式壓縮標準真空泵系統(tǒng)。油封系統(tǒng)由羅茨真空泵與單級或雙級旋片組合而成。
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SOGEVAC 真空泵組基于 SOGEVAC 旋片泵,并與 RUVAC WA、WS 或 WH 系列的羅茨泵相結(jié)合,適合幾乎所有中真空工藝。越來越多的工業(yè)和研究應用都依賴于真空技術,對真空生成系統(tǒng)的要求差異很大。
SOGEVAC 機組的典型應用領域包括工業(yè)、研究和化學。其中重點是金屬生產(chǎn)和加工、干燥和脫氣、熱處理、太陽能部件和半導體制造領域中的鍍膜以及表面細化等工藝。SOGEVAC 機組還可用作高真空系統(tǒng)的前級泵組,與擴散泵、渦輪分子泵和低溫泵結(jié)合使用。
在常見的真空爐工藝中,例如硬化、退火、硬釬焊、熔化和鑄造,通常優(yōu)選使用油封或干式壓縮標準真空泵系統(tǒng)。油封系統(tǒng)由羅茨真空泵與單級或雙級旋片組合而成。
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